设备型号:JEM-IHP200F
原产地/供应商:日本/JEOL
场发射电子探针在钢铁、汽车、电子零件和电池材料等各种工业领域被广泛使用,可进行固体材料微区成分的定性和定量分析,以及元素化学状态分析等,尤其对于C、Li等轻元素,具备更加准确高效的微区元素分辨能力。
设备参数指标
l 加速电压:1 - 30 kV
l 束流:10-12 - 3×10-6 A
l 束斑尺寸:≤20 nm @10 kV
l SE分辨率:2.5 nm @ 30 kV
l 分析元素:B5-U92
l 谱仪道数:4道波谱仪
功能配置
l 肖特基场发射电子枪
l 四道波谱仪
l 100和140mm罗兰圆半径
l 70mm2电制冷能谱仪
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