设备型号:G200X
原产地/供应商:美国/KLA
纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量,可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。
设备参数/指标
l 最大压痕深度:80 μm
l 位移分辨率:0.01 nm
l 最大载荷:> 500 mN
l 载荷分辨率:≤ 6 nN
l 最大划痕力:≥ 1000 mN
l 最大划擦深度:≥ 25 μm
l 样品台定位精度:≤ 1 μm
功能配置
l CSM连续刚度测试
l 划痕测试模块
l 3D硬度成像功能
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