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纳米压痕仪
纳米压痕仪
纳米压痕仪

设备型号:G200X


原产地/供应商:美国/KLA

主要用途

纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量,可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。


项目介绍

设备参数/指标

最大压痕深度:80 μm

位移分辨率:0.01 nm

最大载荷:> 500 mN

载荷分辨率: 6 nN

最大划痕力: 1000 mN

最大划擦深度: 25 μm

样品台定位精度: 1 μm

功能配置

CSM连续刚度测试

划痕测试模块

3D硬度成像功能


样品要求


结果展示


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