设备型号:D8 DISCOVER PLUS
原产地/供应商:德国/BRUKER
对固体或粉末样品进行高分辨多晶衍射、小角衍射、掠入射测试;还可对单晶薄膜进行摇摆曲线扫描、多晶薄膜进行反射率等非常规测试试验,结合数据库可对半导体单晶外延膜层材料的结晶完整性分析,对多晶薄膜的厚度、密度、粗糙度进行分析;同时可结合原位变温模块进行材料的原位高低温测试。
设备参数/指标
l 电压/电流:42 kV/100 mA
l 功率:4200 W
l 角分辨率:< 0.01°
l 探测器通道:192 个
l 最大计数率:> 108
l 常规测试2θ范围:0-135°
l 掠入射扫描范围:θ-(θ+90)°
l 旋转样品台转速:13200° /min
l 原位高温实验温度:<1200 ℃
l 原位高温温度精度:±1°
功能配置
l Lynx XE-T一维能量色散型阵列探测器
l Turbo Cu转靶线焦斑光管,入射三光路自动切换
l 高精度测角仪
l 全自动防空气散射刀口
l 原位变温样品台、旋转样品台、紧凑尤拉环
l 物相检索、可编程结构精修软件、正版PDF4-2020数据库
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