设备型号:CROSSBEAM 350 LASER
、
原产地/供应商:德国/ZEISS
双束电镜与飞秒激光联用系统主要用于纳微米尺度下的切割、加工,透射样品制备等工作。飞秒激光加工系统可以有效扩大聚焦离子束系统的加工范围,可以使系统在微米及纳微米尺度实现联用加工分析。
设备参数/指标
l 离子束分辨率:3 nm @ 30 kV
l 激光器脉冲宽度:优于350 fs
l 激光最高刻蚀率:106 μm3/sec
l EDS能量分辨率:优于127 eV
l EBSD花样采集速度:945花样 /s
功能配置
l 液态Ga离子源
l 高通量数据采集系统
l 高级微纳加工系统
l 五支气体注入系统
l 线路修复系统
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主要用于纳微米尺度下的切割、加工,透射样品制备等工作
主要用于较大样品的微观尺度形貌观察,以及微区元素分析;配合拉伸台,可以进行原位观察
可完成复杂的纳米操作
用于金属、半导体等固体样品上制备微纳结构、精确定向制备高质量透射电镜样品等
具有普通扫描电镜对材料表面微观形貌的观察
具有独特的低真空、环境真空模式,广泛应用于测试各种材料
广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等领域
适用于材料断口形貌和微观组织观察、微区成分定性和半定量分析等