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双束电镜与飞秒激光联用系统
双束电镜与飞秒激光联用系统
双束电镜与飞秒激光联用系统
主要用于纳微米尺度下的切割、加工,透射样品制备等工作

设备型号:CROSSBEAM 350 LASER

原产地/供应商:德国/ZEISS

主要用途

双束电镜与飞秒激光联用系统主要用于纳微米尺度下的切割、加工,透射样品制备等工作。飞秒激光加工系统可以有效扩大聚焦离子束系统的加工范围,可以使系统在微米及纳微米尺度实现联用加工分析。


项目介绍

设备参数/指标

离子束分辨率:3 nm @ 30 kV

激光器脉冲宽度:优于350 fs

激光最高刻蚀率:106 μm3/sec

EDS能量分辨率:优于127 eV

EBSD花样采集速度:945花样 /s

功能配置


液态Ga离子源

高通量数据采集系统

高级微纳加工系统

五支气体注入系统

线路修复系统



样品要求


结果展示


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