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超大样品仓扫描电子显微镜
超大样品仓扫描电子显微镜
超大样品仓扫描电子显微镜
主要用于较大样品的微观尺度形貌观察,以及微区元素分析;配合拉伸台,可以进行原位观察

设备型号:EVO25


原产地/供应商:德国/ZEISS

主要用途

超大样品仓扫描电子显微镜主要用于较大样品的微观尺度形貌观察,以及微区元素分析;配合拉伸台,可以进行原位观察。


项目介绍

设备参数/指标

分辨率(SE and W)3.0 nm@ 30 kV

分辨率(VP with BSD)4.0 nm@ 30 kV

加速电压:0.2 – 30 kV

EDS探测器能量分辨率:Mn 保证优于127 eV

元素分析范围:Be4Cf98

最大样品高度:210 mm

最大样品直径:300 mm

最大样品重量:5 kg

功能配置


二次电子探测器

背散射电子探测器

样品室CCD相机

五轴马达驱动样品台

能谱仪

原位拉伸台



样品要求


结果展示


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