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双束电镜与二次离子质谱联用系统
双束电镜与二次离子质谱联用系统
双束电镜与二次离子质谱联用系统
可完成复杂的纳米操作

设备型号:AMBER GMU TOF-SIMS


原产地/供应商:捷克/TESCAN

主要用途

超高分辨率电镜联用系统可完成复杂的纳米操作,搭载飞行时间二次离子质谱能完成从H开始的轻元素检出分析和微量元素分析工作,结合能谱仪和EBSD,可以完成微区成分及晶体结构取向分析。


项目介绍

设备参数/指标

离子束分辨率:2.5 nm @ 30 kV

TOF -SIMS质谱分辨率:不低于800,质量数范围不小于1 - 2500

元素含量检出限:ppm量级

元素范围:从H开始的任意元素

EBSD:在线标定速度高达4500 /

功能配置


液态金属镓离子源

/碳沉积气体

集成TOF-SIMS系统



样品要求


结果展示


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