设备型号:GEMINI 300
原产地/供应商:德国/ZEISS
原位扫描电子显微分析系统除了具有普通扫描电镜对材料表面微观形貌的观察,微区元素分析以及晶体结构分析外,还可用于研究材料的原位拉伸,高温实验中微观组织结构的变化,以及变化过程中元素及晶体结构的变化情况。
设备参数/指标
l 电镜分辨率:0.7 nm @15 kV (SE)
l 0.6 nm @1 kV(Inlens)
l 放大倍率:12-2,000,000×
l 探针电流:不小于20 nA;束流稳定性优于0.2% /h
l 加速电压:0.02 kV ~ 30 kV,连续10V可调
l 样品台:X ≥ 130 mm,Y ≥ 130 mm,Z ≥ 50 mm,
l -4~70°(倾斜),360°(旋转)
l 真空度:电子枪:优于10-7 Pa
l 样品室:优于2.7×10-4 Pa
l 样品台倾转角度:-10°~60°
功能配置
l 样品室内二次电子探测器
l 样品室内背散射电子探测器
l 镜筒内Inlens二次电子探测器
l 镜筒内能量选择背散射探测器
l 能谱仪EDS
l 电子背散射衍射仪EBSD
l 原位台(加热、拉伸、剪切、弯曲)
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适用于材料断口形貌和微观组织观察、微区成分定性和半定量分析等
具有独特的低真空、环境真空模式,广泛应用于测试各种材料
具有普通扫描电镜对材料表面微观形貌的观察
主要用于纳微米尺度下的切割、加工,透射样品制备等工作
可完成复杂的纳米操作
用于金属、半导体等固体样品上制备微纳结构、精确定向制备高质量透射电镜样品等
广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等领域
主要用于较大样品的微观尺度形貌观察,以及微区元素分析;配合拉伸台,可以进行原位观察